Keithley 6517A 5 1/2 位静电计/高电阻表提供极高的精度和灵敏度规格。它还提供了多种功能，可简化高电阻和绝缘材料电阻率的测量。Keithley 6517A 的读取速率高达每秒 125 个读数，其速度也明显快于同类静电计，因此它提供了一种快速、简单的方法来测量低电平电流。

全世界灵敏高阻/低电流测量仪器6517A型高阻计/静电计 最高的电流测量灵敏度1×10-17A；最高的电阻(率)直接测量能力5×10-17Ω；准确度、灵敏度、功能、价格优于任何其他公司的高阻计/静电计。测量范围：电流(10-17~10-2A)；电压(10-6~102/104V)；温度(-190~1350℃)；电阻(10-1~1017Ω)；电荷(10-15~10-6C)；湿度(0.3%~100%) 主要性能： 输入阻抗大于2×1014Ω； 输入端压降小于20μV； 仪器内部温度湿度补偿； 已备1kV精密程控电压源，最小步长5mV； 测量数据可作为t,T,H的函数； 六位半弱电流和高阻电压测量分辩率； 小信号带宽100kHz； 直接测体/表面电阻率1018Ωcm,1017Ω/口； 噪声小于7.5×10-16A； 具有十通道测量扩展能力； 快速弱电流测量125点/秒； 多参数同时测量和显示； 带IEEE-488.2接口和RS-232接口； 前放输出(阻抗转换)和模拟输出； 最长可驱动300米电缆； 数据存储(15K,Max),触发联接技术特征

测量高达 1018Ω 的电阻

10aA（10×10-18A）电流测量分辨率

小于 3fA 输入偏置电流

6 1/2 位高精度测量模式

最低电流范围内的负载电压小于 20μV

输入阻抗 >200TO 时电压测量高达 200V

内置+/-1000V电压源

用于高电阻测量的独特的交流极性电压源和测量方法

用于四种不同器件特性测试、表面电阻率和体积电阻率、表面绝缘电阻和电压扫描的内置测试序列

可选插入式扫描仪卡，可通过一种测试设置测试多达 10 个设备或材料样

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